Opt-Pecvd1700 Pecvd Fırın
PECVD fırın , çok çeşitli filmlerin biriktirilmesi için iyi kurulmuş bir tekniktir. Birçok cihaz tipi, yüksek kaliteli pasivasyon veya yüksek yoğunluklu maskeler oluşturmak için PECVD gerektirir.
Opt-Pecvd1700 Pecvd Fırın
PECVD, çok çeşitli filmlerin biriktirilmesi için iyi kurulmuş bir tekniktir. Birçok cihaz tipi, yüksek kaliteli pasivasyon veya yüksek yoğunluklu maskeler oluşturmak için PECVD gerektirir.
PECVD FIRIN TEKNİK ÖZELLİKLERİ
Maksimum Sıcaklık : 1700°C
Devamlı Çalışma Sıcaklığı : 1600 °C
Kontrol Paneli : Windows İşletim Sistemi Tabanlı LCD Dokunmatik Ekran
Programlanabilme : 30 adım programlanabilme özelliği
Isıtma Elementi : Fe-Cr-Al alaşımı katkılı Mo
Thermocouple : B tipi
Tüp: Alumina
Tüp Çapı : Opsiyonel olarak belirlenebilir. Standart tüpler 50mm OD x 1000 mm uzunluğa sahiptir.
Isıtma Hızı : Maksimum 20 °C / dk. Ortalama 10 °C/dk
Isıtma Bölgesi : Opsiyonel olarak 300-400-500 mm olarak tercih edilebilir. Sistemler standart olarak tek ısıtma bölgesine sahiptir ancak tercih edildiği takdirde birbirinden bağımsız çalışabilen üç ısıtma bölgeli tasarlanabilir.
Termal Kontrol Sistemi ve Hassasiyeti : PID kontrol sistemi ile ±1 °C hassasiyet
Bağlantı : 220V 50-60Hz
Sistem tüpe bağlanacak vakum flanşları (paslanmaz çelikten imal edilmiş) ve manuel vakum manometresi içerir.
MFC Teknik Özellikleri
Standart CVD sistemleri 0-200 sccm gaz akış debisi aralığında 3 bağımsız kütle akış kontrolörü içerir.
MFC’lerin sayısı 1-4 arasında tercih edilebilir ve debisi 0-500 sccm aralığına kadar opsiyonel olarak yükseltilebilir.
Kontrol Paneli : Windows işletim sistemi tabanlı LCD Dokunmatik ekran
Sisteme vakum pompası dahildir.
Plazma Ünitesi Teknik Özellikleri
Çıkış Gücü : 5-500W ±1% hassasiyet ile
Frekansı : RF 13.56 Mhz ±0.05% hassasiyet ile
Gürültü Seviyesi : <50Db
Soğutma : Hava soğutmalı
Bağlantı : 220 V 50-60 Hz
Opt-Pecvd1700 Pecvd Fırın ve benzer ürünlere buradan ulaşabilirsiniz.