Stylus(iğneli) profilometre opto-elektronik, MEMS, yarı iletken ve genel amaçlı çalışmalar için kullanılmaktadır.
Kla Tencor Profilometre sistemleri yarı iletken malzeme çalışmalarında dünyada pazar lideri konumundadır.
Tencor Profilometre: Tamamen programlanabilir tarama ünitesi ile yüksek çözünürlüklü uzun taramalarda en iyi fiyat/performans oranına sahiptir.
KLA Stylus (iğneli) Profilometre ünitesi Ülkemizde önde gelen AR-GE merkezleri tarafından tercih edilir. Günümüzde başta ASELSAN, TÜBİTAK olmak üzere birçok AR –GE merkezinin en güvenilir ölçüm sistemlerinden biri haline gelmiştir.
NON-CONTACT (OPTİK) PROFİLOMETRE
Kla-Filmetrics Non-Contact optik profilometre sistemleri PROFILM 3D Optik profiler son derece makul fiyata sahiptir. AR-GE çalışmalarında 3 Boyutlu nanometrik yüzey görüntüleme imkanı sağlar. Sahip olduğu motorize tablası ile interferometrik olarak 3 boyutlu haritalama yapabilmektedir. Angström seviyesinden milimetreye kadar geniş bir skaladan 2D-3D yüzey görüntüleme ve pürüzlülük ölçüm yapabilmektedir.
İğne Uçlu Profilometre
Yüzey profilini incelemek ve ölçmek için kullanılan bir cihazdır. Çalışma prensibi yüzeyin yükseklik farklarını hassas bir şekilde ölçmek üzerine kuruludur. Stylus Profiler D600 çalışma prensibi;
İğne veya Prob: İğne Uçlu Profilometre ana bileşeni; ince bir iğne veya probdur. Bu iğne yüzeye temas eder ve yüzeyin yükseklik farklarını ölçmek için yardımcı olur. İğnenin sivri ucu yüzeye hassas bir şekilde temas eder.
Hareket Sistemi: İğne veya prob yüzey boyunca hassas bir şekilde hareket halindedir. Bu hareket sistemi, iğnenin veya probun yüzeyi boyunca düzgün bir şekilde kaymasını sağlar.
Ölçüm: İğne veya prob yüzey üzerinde hareket ederken yüzeyin yükseklik farklarına yanıt verir. İğnenin sivri ucu, yüzeyin üstünde yükseldiği veya yükselmediği noktaları algılar. Bu iğnenin ucu ile yüzey arasındaki mesafenin değişmesi ile belirlenir.
Sensörler ve Algılama: İğne Uçlu Profilometre iğnenin veya probun yüzey ile temasındaki mesafeyi ölçmek için hassas sensörler veya algılayıcılar içerir. Bu algılayıcılar iğnenin uç ile yüzey arasındaki mesafeyi sürekli olarak izler.
Veri Toplama: İğne veya probun hareket ettiği sırada algılanan yüzey-yükseklik verileri, ölçüm elektroniği tarafından toplanıp ve kaydolur. Bu veriler, iğnenin yüzeyde gezdiği her noktada yüzey yükseklik profilini oluşturur.
Veri Analizi: Toplanan yüzey profil verileri, bir bilgisayar programı veya yazılım tarafından analiz halindedir. Bu analiz, yüzeyin pürüzlülüğünü, yükseklik farklarını, dalgalanmalarını ve diğer topografik özelliklerini hesaplamak için önemlidir.
Sonuçlar: Yüzey profilini çeşitli parametrelerle (örneğin, yüzeyin ortalama yüksekliği, maksimum yükseklik farkı, pürüzlülük faktörleri vb.) karakterize eden sonuçları üretir. Bu sonuçlar, yüzeyin detaylı analizini yapmak, kalite kontrolünü sağlamak veya yüzeyin karakterizasyonunu gerçekleştirmekte yararlıdır.
İğne Uçlu Profilometre, yüzey profilini mikrometre veya nanometre ölçeğinde hassas bir şekilde ölçebilirler.
