KLA Alpha-Step D600 Stylus Profilometre
KLA Alpha-Step D600 Stylus Profilometre, 2D ve 3D yüzey ölçümleri için yüksek hassasiyet sunar. Adım yüksekliği, pürüzlülük ve gerilme gibi özellikleri ölçer. Gelişmiş optik teknolojiyle doğru sonuçlar verir. Kullanıcı dostu yazılımı sayesinde kolayca analiz yapabilirsiniz.
KLA Alpha-Step D600 Stylus Profilometre: Yüksek Hassasiyetli Yüzey Ölçümleri İçin İleri Teknoloji Çözümü
Alpha-Step D600, 2D ve 3D yüzey ölçümleri için ideal bir cihazdır. Özellikle araştırma ve üretim ortamlarında, adım yüksekliği, yüzey pürüzlülüğü ve gerilme ölçümleri yapabilmek için kullanılır. Böylelikle Alpha-Step D600, yüksek çözünürlük ve geniş dikey ölçüm aralığı ile yüksek hassasiyetli sonuçlar sağlar.
Alpha-Step D-600 Özellikleri
- Adım Yüksekliği Ölçümü: 2D ve 3D adım yüksekliği ölçümleri, nanometrelerden 1200 µm’ye kadar yapılabilmektedir. Bu özellik, etch, sputter, kaplama ve CMP gibi süreçlerden malzeme eklenmesi veya çıkarılması sırasında oluşan değişiklikleri doğrulamanızı sağlar.
- Düşük Kuvvet Ölçümü: 0.03 mg ile 15 mg arasında değişen düşük kuvvet ölçümü ile yumuşak malzemelerde (örneğin foto direnç) dahi hassas ölçümler yapılabilmektedir.
- Yüzey Pürüzlülüğü ve Dalgalanma: Cihaz, 2D ve 3D pürüzlülük ve dalgalanma ölçümleri yapabilmektedir. Ayrıca yazılım filtreleri, ölçüm sonuçlarını pürüzlülük ve dalgalanma bileşenlerine ayırarak doğru analizler sağlar.
- Şekil ve Eğrilik Ölçümleri: Alpha-Step D600, yüzeyin 2D şekli ve eğriliğini ölçebilir. Örneğin, yarı iletken üretiminde kullanılan katmanların uyumsuzluğundan kaynaklanan wafer eğriliklerini tespit edebilirsiniz.
- Gerilme Ölçümü: Cihaz, ince film gerilmesi ölçümleri yapabilmektedir. Ayrıca film depozitasyonu gibi süreçler sonucu oluşan şekil değişikliklerini kullanarak gerilmeyi hesaplayabilirsiniz.
Alpha-Step D600 Uygulama Alanları
- Yarı İletken ve LED Üretimi
- Güneş Enerjisi ve MEMS Teknolojileri
- Otomotiv ve Medikal Cihazlar
Diğer Özellikler
- Motorlu Aşama: 200 mm’lik örnek çenesi ile motorize aşama, örneklerin doğru şekilde yerleştirilmesini sağlar.
- İleri Optik Teknoloji: Gelişmiş video kontrol özelliklerine sahip yüksek çözünürlüklü 5 MP renkli kamera, ölçüm doğruluğunu artırır.
- Kompakt Tasarım: Küçük sistem alanı, cihazın her ortamda kullanılmasını kolaylaştırır.
KLA Alpha-Step D600 Stylus Profilometre, yüzey ölçümlerini doğrudan yapabilme yeteneği ile malzeme özelliklerinden bağımsız olarak hassas sonuçlar sunar. Böylece bu cihaz, yüksek kaliteli ölçüm ve analiz çözümleri arayan araştırma laboratuvarları ve üretim tesisleri için mükemmel bir tercihtir.