KLA Tencor P17/P17 OF Stylus Profilometre
KLA Tencor P17/P17 OF Stylus Profilometre, 2D ve 3D ölçümlerle yüksek hassasiyet sunar. Adım yüksekliği, pürüzlülük, şekil bozulması ve gerilme gibi parametreleri doğru şekilde ölçebilir. Aynı zamanda yarı iletken, LED, MEMS ve otomotiv sektörlerinde geniş uygulama alanına sahiptir. Kullanıcı dostu arayüzü ve otomatik ölçüm özellikleriyle verimli sonuçlar sağlar.
KLA Tencor P17/P17 OF Stylus Profilometre: Yüksek Hassasiyetli Ölçüm Teknolojisi
Stylus Profilometre, yüzey metrologisi alanındaki 45 yılı aşkın deneyime dayalı olarak tasarlanmıştır. Aynı zamanda endüstriyel ve Ar-Ge ortamlarında üstün performans sergileyen bir cihazdır. Ayrıca bu profilometre, 2D ve 3D ölçüm yapabilme kapasitesi ile adım yüksekliği, pürüzlülük, şekil bozulması (bow) ve gerilme gibi parametreleri hassas bir şekilde ölçebilmektedir.
Ana Özellikler ve Ölçüm Yetenekleri
- Adım Yüksekliği Ölçümü: KLA Tencor P17/P17 OF Stylus Profilometre, birkaç nanometreden 1000 mikrometreye kadar adım yüksekliği ölçümü yapabilme kapasitesine sahiptir. Bu, özellikle yüzey işleme süreçlerinde, örneğin etching, sprey kaplama, ve ince film işlemleri sırasında materyal eklenmesi veya çıkarılması işlemlerinin doğruluğunu ölçmek için idealdir.
- Düşük Güç Kontrolü: KLA Tencor P17/P17 OF, sabit güç kontrolü sunarak, ölçüm sırasında yüzeyde sabit bir kuvvet uygulayarak daha stabil ölçümler elde eder. Ayrıca bu özellik, yumuşak malzemelerin, örneğin fotorezistlerin doğru bir şekilde ölçülmesini sağlar.
- Pürüzlülük ve Dalgalanma Ölçümü: 2D ve 3D pürüzlülük, dalgalanma ve yüzey topografyasını ölçebilir. Yazılım, ölçülen verileri pürüzlülük ve dalgalanma bileşenlerine ayırarak çeşitli analizler sağlar.
Gelişmiş Fonksiyonlar ve Otomasyon
- Tam Otomatik Ölçümler: KLA Tencor P17/P17 OF, desen tanıma ve sıralama özellikleri ile tamamen otomatik ölçümler sunar. Aynı zamanda bu özellik, operatör hatalarını azaltarak ölçüm güvenilirliğini artırır.
- Gerilme Ölçümü: Cihaz, ince film üretiminde oluşan gerilmeleri 2D ve 3D olarak ölçebilmektedir. Özellikle yarı iletken ve bileşik yarı iletken endüstrilerinde, cihazın gerilme ölçüm kapasitesi büyük önem taşır.
KLA Tencor P17/P17 OF Stylus Profilometre’nin Avantajları
- Yüksek Çözünürlük: 5 MP yüksek çözünürlüklü renkli video kamera ile donatılmıştır. Ayrıca bu özellik, örneğin yüzey kusurları ve ince ayrıntıların doğru bir şekilde incelenmesini sağlar.
- Geniş Uygulama Alanı: KLA Tencor P17/P17 OF, yarı iletkenler, LED, solar paneller, MEMS cihazları, otomotiv ve tıbbi cihazlar gibi birçok endüstride kullanılmaktadır.
KLA Tencor P17/P17 OF Stylus Profilometre’nin Özellikleri
- Adım Yüksekliği: 2D ve 3D adım yüksekliği ölçümleri (Nanometre ile 1000µm arasında).
- Pürüzlülük ve Dalgalanma: Yüzeyin pürüzlülük ve dalgalanma ölçümleri.
- Şekil Bozulması (Bow): Yüzey şekli ve bow ölçümleri.
- Gerilme: 2D ve 3D ince film gerilme ölçümleri.
- Yüksek Hassasiyet: 5 MP yüksek çözünürlüklü renkli kamera ve gelişmiş yazılım analizi.
Stylus Profilometre, gelişmiş ölçüm kapasitesi ve otomatik özellikleri ile endüstri lideri bir cihazdır. Böylece yüksek hassasiyetli ölçümleri, kullanıcı dostu yazılım arayüzü ve geniş uygulama alanı sunmaktadır. Özellikle üretim ve araştırma-geliştirme süreçlerinde büyük fayda sağlar. Böylelikle bu cihaz, yüzey metrologisi gereksinimlerinize en uygun çözümü sunar.