Elipsometri, (ellipsometer) çok ince filmlerin veya malzemelerin katmanlarının kalınlığını ve optik özelliklerini ölçmek için optik bir tekniktir. Ölçülebilir özellikler, kırılma indisi veya ne kadar ışığın büküldüğü ve ışık emme seviyesinin soğurma katsayısı olarak adlandırılmasıdır. Bir elipsometre, bu ölçümleri yapmak için kullanılan bir cihazdır.
Elipsometre sistemleri, belirli dalga boylarında ayarlanan ışığın ölçüm alınacak numuneden kırılması ve yansıması sonucunda ışığın kutuplaşmasında oluşan değişikliği ölçmektedir. İnce filmlerin karakterizasyonunda sıklıkla başvurulan sistemlerdir.
Elipsometre (ellipsometer) film kalınlığı, ince filmlerin optik sabitleri, yüzey ve ara yüzey pürüzlülüğüne sahiptir. Ayrıca elektrik iletkenliği ölçümlerini, yarı iletkenlerde ve ince film kaplı malzemeler gibi tüm yüzeylerde uygulayabilmektedir. Böylelikle farklı kullanım alanlarına sahip sistemlerdir.
Firmamız sunduğu Optosense elipsometre sistemleri ile, mükemmel doğruluk ve tekrarlanabilir ölçümler alınır. Otomatik odaklanmaya sahiptir. Gelişmiş yazılım ve kütüphaneli sistemleri uygun fiyatlarla laboratuvarlarınıza kazandırmayı amaçlamaktadır.
Elipsometre, malzemelerin kalınlığını ve optik sabitleri (n, k) bulmakta kullanılan optik bir yöntemdir. Malzemenin optik sabitlerinin bilinmesi durumunda film kalınlığı bulunmaktadır. Film kalınlığının bilinmesi durumunda da optik sabitleri bulunabilmektedir. Öte yandan polarize ışık demeti malzemeden yansımaktadır. Böylelikle yansıyan ışın polarizasyon durumu için analiz edilmektedir. Kutuplanmadaki değişim genlik oranı Ѱ ve faz değişimi Δ ile ifade edilmektedir. Elde edilen veriler her bir malzemenin optik özelliklerine ve ölçülen filmin kalınlığına bağlıdır. Polarizasyondaki ölçülen değişim, malzemenin özelliklerini ortaya çıkarmakta kullanılmaktadır.
