Magnetron Sputtering Kaplama Sistemi OPT-180G-1T-A
-Daha yüksek oksijensiz ortam elde etmek için vakum
hazne en az 3 kez yüksek saflıkta inert gazla temizlenmelidir.
-Magnetron püskürtme, giriş havası hacmine daha duyarlıdır,
ve emme havası hacmini kontrol etmek için kütle akış ölçerlerin kullanılması gerekir
Magnetron Sputtering Kaplama Sistemi OPT-180G-1T-A
Magnetron Sputtering Kaplama Sistemi malzemelerin yüzeyine ince ve homojen bir şekilde kaplama uygulamak için kullanılan gelişmiş bir teknolojidir. Bu süreçte, bir vakum odasında bulunan bir hedef malzeme (genellikle bir metal) üzerine yüksek enerjili iyonlar bombardıman yapılır. Bu iyonlar, hedef malzemeden atomlar çıkarmak suretiyle malzeme yüzeyini etkiler. Aynı anda, bir mıknatıs alanı kullanılarak elektronlar, malzeme yüzeyinden çıkartılan atomları hedef malzemeye geri yansıtarak bir plazma oluşturur. Bu plazma içindeki yüklü parçacıklar, malzeme yüzeyinden kopan atomları hedefe çeker ve biriktirir. Bu süreç sonucunda, malzemenin yüzeyine ince bir katman oluşturulur. Magnetron sputtering kaplama, endüstriyel uygulamalarda, elektronik cihazlarda, optoelektronik alanlarda ve malzeme biliminde geniş bir kullanım alanına sahiptir. Kaplama kalitesi, yüksek verimlilik ve çeşitli malzemelerin kullanılabilmesi, bu teknolojiyi malzeme mühendisliği ve üretim süreçlerinde önemli kılmaktadır.
Magnetron Sputtering Kaplama Sistemi OPT-180G-1T-A Teknik Özellikleri
1. Püskürtme güç kaynağı: DC güç kaynağı 300W; maksimum çıktı
voltaj 600V, limit çıkış akımı 500mA
2. Magnetron hedefi: Manyetik bağlantıya sahip 2 inçlik dengeli hedef
saptırma;
3. Uygulanabilir hedef: φ50mm x 3mm kalınlık
4. Oda boyutu: φ180mm x 200mm;
5. Oda malzemesi: yüksek saflıkta kuvars
6. Dönen ısıtma numunesi tablosu: Hız sürekli olarak ayarlanabilir
1’den 20 rpm’ye kadar; magnetrondan hedefe olan mesafe: 60-100mm
7. Soğutma yöntemi: Magnetron hedefi ve moleküler pompa ihtiyacı
dolaşan su soğutması;
8. Su soğutucu: su deposu hacmi 9L, akış hızı 10L/dak
9. Gaz besleme sistemi: kütle akış ölçer, gaz tipi Ar gazı, akış hızı
1~30sccm (özelleştirilebilir);
10. Akış ölçer doğruluğu: ±%1,5 aralık
11. Vakum odasının hava çıkarma arayüzü KF25’tir;
12. Hava giriş arayüzü 1/4 inçlik çift halkalı bir bağlantıdır;
13. Ekran 7 inç renkli dokunmatik ekrandır;
14. Püskürtme akımı ayarlanabilir ve püskürtme güvenlidir
mevcut değer ve güvenli vakum değeri ayarlanabilir;
15. Güvenlik koruması: püskürtme akımını otomatik olarak keser
aşırı akım ve vakum çok düşük olduğunda;
16. Nihai vakum: 5E-4Pa (moleküler pompalı);
17.Vakum ölçümü bir direnç ölçer vakum ölçerdir ve
aralığı: 1~105Pa
Türkiye Distribütörlüğünü yaptığımız firmaya buradan ulaşabilirsiniz. Diğer ürünlerimizi görmek için buraya tıklayabilirsiniz.