Signatone QuadPro2 Otomatik Dört Nokta Prob Sistemi
Signatone QuadPro2 Dört Nokta Prob, otomatik çok noktalı ölçüm ile yüzey direnci ve özdirenç karakterizasyonunu bir araya getirir. 10–300 mm numune desteği, 2D/3D haritalama ve gelişmiş ölçüm altyapısıyla wafer ve ince film analizlerini destekler.
Signatone QuadPro2 Otomatik Dört Nokta Prob Sistemi
Signatone QuadPro2 Dört Nokta Prob, wafer ve aynı zamanda ince filmlerde elektriksel karakterizasyon için geliştirilmiş bir Otomatik Dört Nokta Prob çözümüdür. Böylece sistem, çok noktalı Yüzey Direnci Haritalama işlemlerinin yanı sıra gelişmiş bir Özdirenç Ölçüm Sistemi olarak da kullanılabilir. Otomatik konumlandırma sayesinde numunenin farklı bölgelerinde ölçüm gerçekleştirerek elektriksel özelliklerin yüzey boyunca dağılımını ayrıntılı şekilde analiz eder.
QuadPro2, 10 mm ile 300 mm arasındaki numuneleri destekler. Böylece küçük araştırma numunelerinden tam wafer uygulamalarına kadar farklı ölçüm ihtiyaçlarına uyum sağlar.
QuadPro2 Teknik Özellikleri
Aynı zamanda QuadPro2 Dört Nokta Prob farklı elektriksel karakterizasyon işlemlerini tek sistem üzerinden yönetir:
- 10–300 mm numune desteği
- 5 ile 14.000 arasında ölçüm noktası
- Dakikada 50 ölçüme kadar test kapasitesi
- Yüzey direnci (Sheet Resistance) ölçümü
- Özdirenç (Resistivity) ölçümü
- V/I ölçümü
- Kalınlık ölçümü
- Otomatik 2D renkli contour haritalama
- 3D yüzey haritalama
- Kesit haritalama
- Karşılaştırmalı haritalama
- ASTM F84-99 Dual Configuration yöntemi
- NIST izlenebilir kalibrasyon seçeneği
Otomatik Dört Nokta Prob Ölçümü
Otomatik Dört Nokta Prob teknolojisi, manuel olarak ve bu sayede de farklı noktalarda ölçüm yapma ihtiyacını azaltır. Ayrıca sistem belirlenen koordinatlar arasında otomatik hareket eder ve her noktadan elektriksel veri toplar.
Bu yaklaşım özellikle wafer ve ince film üretiminde proses homojenliğinin değerlendirilmesini kolaylaştırır. Aynı zamanda yüksek sayıda ölçüm noktası, numunenin tamamının daha ayrıntılı incelenmesine olanak tanır.
Yüzey Direnci Haritalama
Yüzey Direnci Haritalama, numune üzerindeki sheet resistance değişimlerinin iki veya üç boyutlu olarak görüntülenmesini sağlar. Böylece araştırmacılar film kalınlığı, kaplama homojenliği veya üretim proseslerinden kaynaklanan bölgesel farklılıkları belirleyebilir.
QuadPro2 aynı zamanda Özdirenç Ölçüm Sistemi olarak malzemenin hacimsel elektriksel özelliklerini değerlendirmeyi destekler.
Signatone QuadPro2 Dört Nokta Prob Kullanım Alanları
- Wafer ve yarı iletken karakterizasyonu
- İnce film araştırmaları
- ITO ve TCO kaplamalar
- Fotovoltaik ve güneş hücreleri
- OLED ve ekran teknolojileri
- İletken kaplamalar
- Nanomalzeme araştırmaları
- Proses geliştirme
- Kalite kontrol uygulamaları
- Üniversite ve Ar-Ge laboratuvarları
Otomatik konumlandırma, çok noktalı analiz ve gelişmiş haritalama özellikleri sayesinde Signatone QuadPro2 Dört Nokta Prob, kapsamlı elektriksel yüzey karakterizasyonu için güçlü bir çözüm sunar.
