Croyojenik Prob İstasyonları
Kategoriler: Cryogenic Sistemler
– Yüksek kalite ve yüksek performans
– Oldukça düşük titreşim seviyesi (± 25nm )
– 3,5 K -475K çalışma aralığı
– LH2/CN2 veya Croygen Free
– 8” wafer kadar genişletilebilen çalışma imkanı
– Non- Contact, Non genişletibilen çalışma imkanı
– Multi tip problar
– 2”ten 8” kadar wafer ile çalışma imkanı
– DC-67 GHz arası elektrik ölçümü
– Opsiyonel optik gözlem ve ölçüm üniteleri
– X-Y-Z yönelici hareket edebilen tablalar
– Sıcaklık stabilitesi ± 50mK
– Mikrodalga, DC/LF, Fiber, Single mode problar
– MonosCope
– Motorize tabla opsiyonu