Opt-Pecvd1400 Pecvd Fırını
Opt- Pecvd 1400 Pecvd Fırını çok çeşitli filmlerin biriktirilmesi için iyi kurulmuş bir tekniktir. Birçok cihaz tipi, yüksek kaliteli pasivasyon veya yüksek yoğunluklu maskeler oluşturmak için PECVD gerektirir.
Opt- Pecvd 1400 Pecvd Fırını
PECVD, çok çeşitli filmlerin biriktirilmesi için iyi kurulmuş bir tekniktir. Birçok cihaz tipi, yüksek kaliteli pasivasyon veya yüksek yoğunluklu maskeler oluşturmak için PECVD gerektirir.
Opt- Pecvd 1400 Pecvd Fırını Teknik Özellikler
Maksimum Sıcaklık : 1400 °C
Devamlı Çalışma Sıcaklığı : 1300 °C
Kontrol Paneli : Windows İşletim Sistemi Tabanlı LCD Dokunmatik Ekran
Programlanabilme : 30 adım programlanabilme özelliği
Isıtma Elementi : Fe-Cr-Al alaşımı katkılı Mo
Thermocouple : K tipi
Tüp: Quartz
Tüp Çapı : Opsiyonel olarak belirlenebilir. Standart tüpler 50mm OD x 1000 mm uzunluğa sahiptir.
Isıtma Hızı : Maksimum 20 °C / dk. Ortalama 10 °C/dk
Isıtma Bölgesi : Opsiyonel olarak 300-400-500 mm olarak tercih edilebilir. Sistemler standart olarak tek ısıtma bölgesine sahiptir ancak tercih edildiği takdirde birbirinden bağımsız çalışabilen üç ısıtma bölgeli tasarlanabilir.
Termal Kontrol Sistemi ve Hassasiyeti : PID kontrol sistemi ile ±1 °C hassasiyet
Bağlantı : 220V 50-60Hz
Opt- Pecvd 1400 Pecvd Fırını sistemi tüpe bağlanacak vakum flanşları (paslanmaz çelikten imal edilmiş) ve manuel vakum manometresi içerir.
MFC Teknik Özellikleri
Standart CVD sistemleri 0-200 sccm gaz akış debisi aralığında 3 bağımsız kütle akış kontrolörü içerir.
MFC’lerin sayısı 1-4 arasında tercih edilebilir ve debisi 0-500 sccm aralığına kadar opsiyonel olarak yükseltilebilir.
Kontrol Paneli : Windows işletim sistemi tabanlı LCD Dokunmatik ekran
Sisteme vakum pompası dahildir.
Plazma Ünitesi Teknik Özellikleri
Çıkış Gücü : 5-500W ±1% hassasiyet ile
Frekansı : RF 13.56 Mhz ±0.05% hassasiyet ile
Gürültü Seviyesi : <50Db
Soğutma : Hava soğutmalı
Bağlantı : 220 V 50-60 Hz
Benzer ürünlere buradan ulaşabilirsiniz.