Spin Coater Apogee 450
Apogee™ hassas Spin Coater, verimli, yerden tasarruf sağlayan bir tasarımda olmasıyla birlikte devrim niteliğinde arayüz yetenekleri ve kimyasal uyumlulukta en üst düzeyde kalite performansı sunar.
Spin Coater Nedir?
Spin Coater (Döner Kaplama Cihazı), ince film kaplamalarının ve kaplama tabakalarının üretilmesinde kullanılan bir laboratuvar ekipmanıdır. Genellikle yarıiletken cihazların, güneş pillerinin, sensörlerin ve mikroelektronik bileşenlerin üretiminde kullanılır. Bu cihaz, örnek yüzeyine çözelti veya sıvı tabakası uygulayarak, ince filmlerin homojen ve belirli kalınlıklarda oluşturulmasını sağlar.
Çalışma Prensibi (Döner Kaplama Cihazı)
Spin Coater temel çalışma prensibi şu adımlarla özetlenebilir:
Çözelti Hazırlığı: İnce filmi oluşturmak için gerekli malzemelerin çözeltisi hazırlanır. Bu çözelti, bir çözücü içinde çözünmüş olan özel bileşenleri içerebilir. Bu bileşenler, sonunda ince filmin oluşturulmasını sağlayacaktır.
Substrat Hazırlığı: İnce film tabakasının uygulanacağı alt tabaka (substrat), genellikle silikon veya cam gibi düz ve temiz bir yüzeydir. Bu alt tabaka üzerine ince film oluşturulacaktır.
Çözelti Uygulaması: Çözelti alt tabakaya uygulanır. Bu işlem genellikle çözeltinin merkezine bir damla yerleştirilerek başlar.
Döndürme İşlemi: Alt tabakaya uygulanan çözelti tabakası, spin coater’ın platosu sayesinde döndürülür. Döndürme hızı, oluşturulacak ince filmin kalınlığını etkileyen kritik bir parametredir. Platodaki dönme işlemi, çözeltinin yüzeyi boyunca yayılmasını sağlar.
-Merkezkaç Kuvveti Etkisi: Platodaki döndürme, merkezden dışa doğru yayılan bir çözelti tabakasını oluşturur. Bu çözelti tabakası yerçekimi etkisi ve dönme hızına bağlı olarak daha ince hale gelir.
-Kurutma İşlemi: Döndürme işlemi sona erdikten sonra, çözelti tabakası alt tabakada yayılmış olur. Ancak tabaka hala ıslaktır. Bu nedenle, sıcak hava veya kızılötesi ışık gibi yöntemlerle tabakanın kuruması sağlanır. Bu adım, ince film kaplamasının son halini almasını sağlar.
Uygulamalar ve Önemi
Spin coater, mikroelektronik üretimi, yarıiletken cihaz üretimi, sensör teknolojisi, nanoteknoloji, biyomedikal alanı ve daha birçok alanda kullanılır. Bu cihaz, ince film kaplamalarının kontrol edilebilir şekilde üretilmesini sağlar, bu da birçok teknolojik uygulamanın temelini oluşturur.
Sonuç olarak, spin coater ince film kaplamalarının üretimi için kritik bir araçtır. Özellikle mikroelektronik ve nanoteknoloji alanlarında, cihazın sağladığı yüksek kontrol ve homojenlik, gelişmiş teknolojilerin geliştirilmesine olanak tanır.
Spin Coater Apogee 450 (Döner Kaplama Cihazı)
FAYDALAR
- Küçültülmüş ayak izi için kompakt tasarım
- Tam renkli, 7 inç dokunmatik ekran
- Sınıfında en yüksek beygir gücüne sahip sürücü sistemi (dolaylı)
- Gelişmiş kapak kaldırma desteği özelliği (gazlı yay ≥ 45° açılır)
- Dayanıklı tezgah üstü tasarımı
- DataStream™ teknolojisi
- Opsiyonel X-PRO iş istasyonu, proses duman kontrolü için bağımsız kabini bir üst egzoz duvarıyla entegre eder.
HAZNE TASARIMI
- Yüksek yoğunluklu polietilen (HDPE) döner kase
- Çok yönlü kapak tasarımı, proses esnekliği ve tekrarlanabilirlik sağlar
- Hareketsiz bir döndürme ortamı için isteğe bağlı nitrojen tahliyesi
- Entegre tahliye ve egzoz portları
PROGRAMLANABİLİRLİK
- Dokunmatik ekran arayüzü ve ekran
- Tam renkli alfasayısal özellikli grafik kullanıcı arabirimi (GUI)
- Adım süreleri için 0,1 saniye kararlılık (9,999,9 saniye maksimum adım süresi)
- Dönme hızı: 6.000 rpm
- Dönme hızı ivmesi:
- 0 – 30.000 rpm/s yüksüz
- 300 mm alt tabaka ile 0 ila 23.000 rpm/s
- 350 mm x 6 mm yuvarlak gömülü sıkma aynası ile 0 ila 3.000 rpm/s
- Gömme aynada 14” × 14” × 1,1 mm fotomaske ile 0 ila 400 rpm/s
- Bağlantı: DataStream™ teknolojisi ile proses parametrelerinin yüklenmesi/indirilmesi için iletişim için USB/Ethernet bağlantı noktası
- Eşzamanlı, otomatik, çoklu dağıtım özelliği
KESİNLİK
- Dönme hızı tekrarlanabilirliği: < 0,2 rpm
- Dönme hızı kararlılığı : < 0,2 rpm
- Yüzey boyutları: < 1 cm ila 450 mm yuvarlak; 14” x 14” kare
GÜVENİLİRLİK
- Dolaylı sürücü sistemi, spin motorunu proses kimyasalları ve çözücülerle temastan korur
- Vakum ve kapak kilidi
- Endüstri lideri güvenilirlik ve çalışma süresi
- Parçalar ve işçilik için 1 yıllık tam garanti
- Ürünün kullanım ömrü boyunca ücretsiz uzaktan teknik destek (telefon, e-posta)
- Ürünün ömrü boyunca uygulama süreci yardımı
ARAÇLAR
- Voltaj aralıkları: 208-240 VAC, Tek Faz, 50/60 Hz
- Güç gereksinimleri: 1440 watt (6A)
- Drenaj portu: 3/4” OD
- Egzoz portu: 1,5″ OD, 0,2″ suda 20 ila 50 cfm (0,6-1,4 metreküp/dak)
- Vakum: > 20” Hg (< 33 kPa abs)
- Azot veya CDA (otomatik dağıtım için): 70 psi (482 kPa)
BOYUTLAR
- 27-5/8” (70,2 cm) W × 30-3/4” (78,2 cm) D × 15-1/2” (39,4 cm)H*
- Makine ağırlığı: 115 lb (52,2 kg)
- Nakliye ağırlığı: 250 lb (113.4 kg)
*H kapak kapalıdır. Kapak açıkken H 30-1/4” (76.9cm)
Apogee 450 Spin Coater (Döner Kaplama Cihazı), son derece hassas dönüş hızı kontrolü ile agresif hızlanma için yüksek torklu bir sürücüyü bir araya getirir. 300 mm ve daha büyük levhalar ve 14” × 14” boyutuna kadar LCD kareler için tasarlanmıştır.
Benzer ürünlere buradan veya buradan ulaşabilirsiniz.